TFW-50, 100, 200 고정도 막두께 계측
작성자관리자
- 등록일 13-09-12
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산업분야에 적용 분광식 막두께 측정장치입니다.
10nm~1000μｍ까지의 두께에서 5층까지의 막두께 측정에 대응합니다.
막두께 측정의 응용 : Wafer 반송기와 조합하여 자동측정이 가능합니다.
분광부
TFW-100（1）
TFW-100（2）
TFW-100（3）
TFW-150
막두께 측정 범위
10nm ~ 15μｍ
100nm ~ 80μｍ
10μｍ ~ 800μｍ
100nm ~ 50μｍ
사용광원
가시 W-Lamp
가시 W-Lamp
NIR W-Lamp
NIR W-Lamp
사용 파장 영역
400nm ~ 1000nm
450nm ~ 850nm
800nm ~ 1050nm
900nm ~ 1650nm
PC 인터페이스
USB2.0
USB2.0
USB2.0
USB2.0
